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王同刚在研究室里弄明三工作台的图纸和运作原理后,又被颜教授带进了制作车间,一台模型呈现在了他的面前。曾记得那台已被安装在两座光刻机上下之间的单工作台,就是在这里制造出来的。
当然华东高科集团也是以三百五十万元购买过去的。
同刚望着这个模型心情沉重了,单工作台就要这么多钱,而三工作台不要过千万元也拿不去。而且那三位一体的数控软件,还得跟上修改和补充,芯片制作的工程也得跟进改建或扩建,这些那一样不用钱?
公司为双工作的建造及其所需的经费都迟迟没有决定,现又搞出个三工作台的,不就更难实现了吗?
颜教授对自己这位学子了如指掌,他呵呵地笑着说,“同刚,没那么严重,放松些。”
同刚望着教授的双眼,迫不及待地问,“这怎么说?”
“你们的两座28nm制程的光刻机,不是有工作台吗?”
“嗯,是。”
“与其搁置在那里不用,还不如把它们用起来,既避免了浪费又给公司节省了钱,而且还加快了建设工期。”
“哦……,可如何把它们用起来,而且还是有机制的?”同刚望着教授的眼神由急迫变成了疑惑。
“根据设计图纸和原理,你仔细的察看这三工作台的模型,就会明白的了,既简单又实用。”教授看着同刚的神情变化,又是呵呵的笑。
可这一笑,让同刚明白了恩师的用意:他不仅是为了帮助学子,也是在启发自己的学子啊。
一天过去同刚终于弄明了这三工作台的有机结合和运作。
原来晶圆上下两面同时光刻,若在1号工作台进行,光刻一层后,自动转出到2号工作台的位置,来检测晶圆上面的芯片;2号工作台则同时转到3号工作台的位置,来检测晶圆下面的芯片;而这时的3号工作台因两面检测完毕,又转回到1号工作台的位置继续下一层的光刻。
这样周而复始地进行,所光刻出来的芯片,不但保证了质量,还提高了效率,从而降低了制作成本。
同刚再次感受到了自己恩师的伟大,而且英明,如此这般的设计是再好不过的了。他提出要将模型搬运回去,然后照葫芦画瓢把三个工作台衔接起来。颜教授拒绝了他的要求。
“恩师请您准许吧!”
“不行!这种照瓜画瓢的做法不可取。你可以把图纸的复印件带去。”
同刚明白了恩师的另一用意,他是要自己不能一丝不变的照搬,而是要因实情而改变。
“恩师,我拍下模型的视频带回去行吗?”
“为什么?”
“因为我们公司就单工作台改为双工作台一事,仍争论不休迟迟做不了决定,如果直接改成三工作台既易行又省钱,我想公司容易通过,但得有充分的说服力,而这模型的视频就是证据。”
“哦……,好吧!”颜教授答应了。其实他也盼着自己的创作能得以验证。